(2)飘尘测定仪①石英晶体飘尘测定仪气样经粒子切割器剔除粒径大于10um的颗粒,小于10um的飘尘进入测量气室,测量气室内有高压放电针、石英谐振器及电极构成的静电采样器,气样中的飘尘因高压电晕放电带上负电荷,继之在带正电的石英谐振器电极表面放电并沉积,除尘后的气样流经参比室内的石英谐振器排出。...
Autodoping:自搀杂(外延时SUB的浓度高,导致有杂质蒸发到环境中后,又回掺到外延层)26. Back end:后段(CONTACT以后、PCM测试前)27. Baseline:标准流程28. Benchmark:基准29. Bipolar:双极30. Boat:扩散用(石英)舟31. CD:(Critical Dimension)临界(关键)尺寸。...
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