ASTM E427-95(2006) 用卤素检漏仪(碱离子二极管)试验泄漏的标准实施规程发布历史

ASTM E427-95(2006)由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 1995，于 2013-06-20 废止。

ASTM E427-95(2006) 在中国标准分类中归属于: A42 物理学与力学，在国际标准分类中归属于: 31.080.01 半导体器分立件综合。

* 在 ASTM E427-95(2006) 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。

卤素泄漏测试可用于指示密闭容器中泄漏的存在、位置和程度。该测试方法通常用于生产检验。由于担心这些气体对臭氧层的影响，其与卤化制冷剂气体的使用已逐渐减少。

1.1 本实践涵盖以 2.2 10 14 mol/s (5 1010标准 cm3/s）。测试可以在任何可以产生卤素示踪气体压差的设备或组件上进行，并且可以在需要泄漏测试的区域的流出侧使用卤素检漏仪进行探测。

1.2 有五种方法：描述：

1.2.1 方法 A - 直接探测，大气中没有明显的卤素污染。

1.2.2 方法 B - 直接探测，大气中没有明显的卤素污染。

1.2.3 方法 C - 护罩测试。

1.2.4 方法 D -气幕罩试验。

1.2.5 方法E 累积试验。

1.3 以英寸-磅为单位的数值应视为标准。英寸-磅单位的公制当量可能是近似值。本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

ASTM E427-95(2006)
用卤素检漏仪(碱离子二极管)试验泄漏的标准实施规程