ASTM F1152-93(2001)
硅片刻槽尺寸的标准测试方法
Standard Test Method for Dimensions of Notches on Silicon Wafers
- 标准号
- ASTM F1152-93(2001)
- 发布
- 1993年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F1152-02
- 当前最新
- ASTM F1152-02
- 引用标准
- ASTM E122
- 适用范围
- 1.1 本测试方法采用非破坏性程序来确定硅晶圆上基准凹口的尺寸是否在规定的限度内。
1.2 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。括号中给出的值仅供参考。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。