ASTM E986-04
扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
ASTM E986-04 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- ASTM E986-04
- 发布
- 2004年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E986-04(2010)
- 当前最新
- ASTM E986-04(2024)
- 作为第一步，SEM 的传统分辨率测试需要在高放大倍数下拍摄细颗粒样品的显微照片。操作员需要测量显微照片上两个相邻但独立的边缘之间的距离。这些边缘的间距通常小于一毫米。由于具有如此小直径和低电流的光束的信噪比，它们的图像质量通常不是最佳的。操作员的判断取决于测量人员的个人敏锐度，并且可能存在很大差异。使用这种做法可以得到 SEM 电子束尺寸表征，其重现性明显高...