ASTM E1127-91(1997)
俄歇电子能谱学中的深度压形的标准指南

Standard Guide for Depth Profiling in Auger Electron Spectroscopy

被代替

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标准号: ASTM E1127-91(1997)
发布: 1991年
发布单位: 美国材料与试验协会
替代标准: ASTM E1127-03
当前最新: ASTM E1127-08(2015)

1.1 本指南涵盖了俄歇电子能谱中深度剖析所使用的程序。 1.2 通过以下内容给出深度剖析指南：章节离子溅射 6 角度研磨和横截面 7 机械缩孔 8 无损深度剖析 9 1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

ASTM E1127-91(1997) 中可能用到的仪器设备

俄歇电子能谱（AES）

谁引用了ASTM E1127-91(1997) 更多引用

BS ISO 14606:2015 表面化学分析.溅射深度剖面测定.采用作为参考材料的成层系统最优化

ASTM E1127-91(1997)俄歇电子能谱学中的深度压形的标准指南

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