用分布电阻探头测量硅晶片垂直于表面的纵断面电阻率的标准试验方法, 您可以免费下载预览页
; 针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%; 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力);四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)模拟电阻测量相对误差( 按JJG508-87进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字整机测量zui大相对误差(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±4%整机测量标准不确定度...
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