GJB 6460-2008
干涉仪系统传递函数测量.台阶板位相比较法

Measurement of interferometer system transfer function comparison method of phase step


GJB 6460-2008 中,可能用到以下仪器设备

 

Alpha-Step D-500台阶仪

Alpha-Step D-500台阶仪

优尼康科技有限公司

 

P-17 台阶仪

P-17 台阶仪

优尼康科技有限公司

 

Alpha-Step D-600 台阶仪

Alpha-Step D-600 台阶仪

优尼康科技有限公司

 

P-170 台阶仪

P-170 台阶仪

优尼康科技有限公司

 

Dektak XT台阶仪

Dektak XT台阶仪

布鲁克衍射荧光事业部(AXS)

 

 KLA-Tencor探针式台阶仪

KLA-Tencor探针式台阶仪

上海纳腾仪器有限公司

 

GJB 6460-2008



标准号
GJB 6460-2008
发布
2008年
发布单位
国家军用标准-国防科工委
 
 
引用标准
GB/T 1185-2006 JC/T 185-1996
适用范围
本标准规定了用台阶板位相比较法测量干涉仪系统传递函数的测量方法。 本标准适用于数字式斐索平面干涉仪系统传递函数的测量。

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