EN ISO 14644-1:1999
洁净室和相关控制环境.第1部分:空气清洁度的分级ISO 14644-1-1999

Cleanrooms and Associated Controlled Environments - Part 1: Classification of Air Cleanliness


标准号
EN ISO 14644-1:1999
发布
1999年
发布单位
欧洲标准化委员会
替代标准
EN ISO 14644-1:2015
当前最新
EN ISO 14644-1:2015
 
 
ISO 14644 的这一部分涵盖了洁净室和相关受控环境中空气洁净度的分类,仅根据空气中颗粒的浓度进行分类。 仅考虑具有基于 0.1 um 至 5 um 范围内的阈值(下限)尺寸的累积分布的颗粒群来进行分类。

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