JIS C 5630-2:2009
半导体器件.微型机电器件.第2部分:薄膜材料的拉伸测试方法

Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices-- Part 2: Tensile testing method of thin film materials


 

 

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标准号
JIS C 5630-2:2009
发布
2009年
发布单位
日本工业标准调查会
当前最新
JIS C 5630-2:2009
 
 
引用标准
ISO 6892

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