硅片表面上的应变片部分及其他部分,由于PN边界的势垒而形成电绝缘。为了进一步提高表面稳定性,采用让硅片的整个表面都氧化的方法,使之作为二氧化硅保护膜而分离出来。 作为外部用引线电极,用光刻法除去四个拐角处的氧化硅,再进行蒸镀铝。在感压膜片内直径3毫米处,根据压力传感器的额定压力把膜片光刻到20一50协厚。zui后在一块硅面上将许多个同时处理制作的感压膜片,分别划线、切片。 ...
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