2015年元旦前夕,国家质检总局、国家标准化管理委员会发布公告,《电子工业用气体 高纯氯》和《电子工业用气体 氯化氢》正式颁布。 参与这两项标准制修订工作的中昊光明化工研究设计院有限公司相关人士表示,高纯氯和氯化氢是电子工业的重要原材料,它们主要在半导体制备过程中用作刻蚀剂和清洗剂等。这两项国家标准的制修订对于规范高纯氯和氯化氢产品的研发、生产和使用,提升行业技术水平都将起到有力的促进作用。...
随着时代的发展,气体工业对高纯气、电子气等特种气体的需求也与日俱增,气体中微量、痕量杂质的检测是生产高纯气体和电子工业用气的关键环节,原有的热导等检测器均难以适应当前气体分析的需要。脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)有效填补了这一领域的空白,作为一种通用型检测器其灵敏度极高,对绝大多数无机和有机化合物均有很高的响应,特别适合高纯气体的分析,是能够检测至ng/g(ppb)级的检测器。...
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