YS/T 719-2009
平面磁控溅射靶材.光学薄膜用硅靶

Flat magneting sputtering target.Silicon target for optical coating

YST719-2009, YS719-2009


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YS/T 719-2009

标准号
YS/T 719-2009
别名
YST719-2009
YS719-2009
发布
2009年
发布单位
行业标准-有色金属
当前最新
YS/T 719-2009
 
 
引用标准
GB/T 12963-2009 GB/T 1551-2009 GB/T 2040-2008 GB/T 5121-2008 GB/T 5231-2001
本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、订货单(合同)内容。 本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用硅靶材。

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YS/T 719-2009 中可能用到的仪器设备





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