如果真空室布局不当且涡轮分子泵直接安装在其上时,则会发生真空室变形的情况,情况最严重时还会造成涡轮分子泵扭曲,甚至会与真空室法兰脱离。近年来,主要受到半导体工业的驱动,泵制造商已经通过碰撞实验和控制分析对泵壳和入口法兰上的力矩和受力进行了确定和测试。实验发现,连接到真空室的法兰原则上应该按 ISO-F 执行。通过长圆孔及使用 ISO-CF 与固定螺钉,防止带 ISO-F 法兰的泵发生转动。...
如果真空室布局不当且涡轮分子泵直接安装在上面,则会发生真空室变形的情况。情况最严重时还会造成涡轮分子泵扭曲,甚至会与真空室法兰脱离。近年来,已经通过碰撞实验和控制分析对泵壳和入口法兰上的力矩和受力进行了确定和测试。实验发现,连接到真空室的法兰原则上应该为 ISO-F 或 CF-F 法兰。通过长圆孔及使用 ISO-CF 与固定螺钉,可以防止带 ISO-F 法兰的泵发生转动。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号