DIN EN 62047-6:2010
半导体器件. 微电机设备. 第6部分: 薄膜材料的轴向疲劳试验方法（IEC 62047-6: 2009）; 德文版本EN 62047-6: 2010
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009); German version EN 62047-6:2010
- 标准号
- DIN EN 62047-6:2010
- 发布
- 2010年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 62047-6:2010-07
- 当前最新
- DIN EN 62047-6:2010-07