ISO/TS 25138-2010
表面化学分析.用辉光放电发射光谱测定法分析金属氧化物薄膜

Surface chemical analysis - Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical-emission spectrometry

ISO/TS 25138-2010 发布历史

This Technical Specification describes a glow-discharge optical-emission spectrometric method for the determination of the thickness, mass per unit area and chemical composition of metal oxide films. This method is applicable to oxide films 1 nm to 10 000 nm thick on metals. The metallic elements of the oxide can include one or more from Fe, Cr, Ni, Cu, Ti, Si, Mo, Zn, Mg, Mn and Al. Other elements that can be determined by the method are O, C, N, H, P and S.

ISO/TS 25138-2010由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2010-12-01，并于 2010-12-01 实施。

ISO/TS 25138-2010 在中国标准分类中归属于: A43 化学，在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。

ISO/TS 25138-2010 发布之时，引用了标准

• ISO 14284 钢和铁 化学成分测定用取样和试样制备
• ISO 14707 表面化学分析. 辉光释放光传播光谱测定法(GD-OES). 使用说明*， 2021-02-28 更新
• ISO 16962-2005 表面化学分析.用辉光放电光发射光谱测定法分析锌和/或铝基金属涂层

* 在 ISO/TS 25138-2010 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。

ISO/TS 25138-2010的历代版本如下：

• 2010年12月01日 ISO/TS 25138-2010 表面化学分析.用辉光放电发射光谱测定法分析金属氧化物薄膜
• 2019年08月06日 ISO/TS 25138-2019 表面化学分析 - 通过辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

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标准号

ISO/TS 25138-2010

发布日期

2010年12月01日

实施日期

2010年12月01日

废止日期

无

中国标准分类号

A43

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

IX-ISO

引用标准

ISO 14284 ISO 14707 ISO 16962-2005

适用范围

This Technical Specification describes a glow-discharge optical-emission spectrometric method for the determination of the thickness, mass per unit area and chemical composition of metal oxide films. This method is applicable to oxide films 1 nm to 10 000 nm thick on metals. The metallic elements of the oxide can include one or more from Fe, Cr, Ni, Cu, Ti, Si, Mo, Zn, Mg, Mn and Al. Other elements that can be determined by the method are O, C, N, H, P and S.

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