ASTM F1761-00(2011)
圆形磁射极板磁力线通过的标准试验方法

Standard Test Method for Pass Through Flux of Circular Magnetic Sputtering Targets

标准号

ASTM F1761-00(2011)

发布

2000年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM F1761-00(2011)

 

 

代替标准

ASME B18.6.3-2013

适用范围

在制造薄膜磁性数据存储介质时使用磁控管阴极溅射沉积源是标准做法。但铁磁溅射靶往往会分流溅射阴极的磁场，从而降低溅射过程的效率。溅射靶材制造商已经开发出各种控制合金微观结构的方法，以尽量减少不良的阴极分流效应。然而，由于制造方法不同，即使合金成分相同，一个供应商的靶材的磁性能也可能明显优于或差于另一供应商的靶材。该测试方法允许在标准测试条件下比较磁性目标的磁分流功率。这些结果对于溅射靶材供应商和买家预测靶材性能、指定靶材质量以及确定靶材进货合格很有用。该测试对于量化目标改进工作也可能有用。降低目标材料磁导率的制造工艺步骤往往会增加 PTF，反之亦然。原则上可以通过积累足够的磁导率数据并了解磁控溅射所用磁组件的靶材厚度和场强来预测 PTF。
1.1 该测试方法包括测量通过铁磁溅射靶材传输的直流磁场（“通过通量”或“PTF”）。在此测试方法中，源磁场位于测试目标的圆周方向。
1.2 直径范围为 5 至 8 英寸（含 125 至 205 毫米）、厚度为 0.1 至 0.5 英寸（含 2.5 至 13 毫米）的平面盘状靶材可通过此程序进行表征。
1.3 本测试方法也适用于具有开放中心的目标，例如 5 英寸的目标。外径增加 2.5 英寸内径增加 0.25 英寸厚（外径 127 毫米，内径 63.5 毫米，厚 6.35 毫米）。
1.4 各种直径和厚度的目标通过合适的夹具来容纳，以将被测工件与安装在测试夹具中的源磁体对齐。此过程中指定了涵盖几种流行目标设计的工具。可以通过提供特殊工具来测试其他目标配置。当使用特殊夹具时，与测试有关的所有各方都必须同意测试设置。
1.5 以英寸-磅为单位的数值应被视为标准值。括号中给出的值是 SI 单位的数学转换，仅供参考，不被视为标准。
1.6 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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