ASTM E498/E498M-11
在示踪探针法中用质谱仪检漏器或残余气体分析器作泄漏检验的标准操作规程

Standard Practice for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector or Residual Gas Analyzer in the Tracer Probe Mode

被代替

ASTM E498/E498M-11 发布历史

ASTM E498/E498M-11由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2011。

ASTM E498/E498M-11 在中国标准分类中归属于: N54 质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置。

ASTM E498/E498M-11的历代版本如下：

• 2022年 ASTM E498/E498M-11(2022) 使用质谱仪检漏仪或残留气体分析仪进行探测模式的泄漏标准实践
• 2017年 ASTM E498/E498M-11(2017) 使用质谱仪检漏仪或残留气体分析仪进行探测模式的泄漏标准实践
• 2011年 ASTM E498/E498M-11 在示踪探针法中用质谱仪检漏器或残余气体分析器作泄漏检验的标准操作规程
• 1995年 ASTM E498-95(2006) 在示踪探针法中用质谱仪检漏器或残余气体分析器作泄漏检验的测试方法
• 1995年 ASTM E498-95(2000) 使用质谱仪检漏仪或残留气体分析仪进行探测模式的泄漏标准实践

测试方法 A 最常用于泄漏测试组件，这些组件在结构上能够抽空至 0.1 Pa（大约 10'3 托）的压力。小部件的测试可以与校准泄漏相关联，并且可以测量实际泄漏率，或者可以基于最大允许泄漏来进行验收。对于大多数生产需求，验收是基于零件泄漏量低于既定标准的验收，这将确保组件在预计使用寿命内的安全性能。必须小心确保大型系统在测试体积的代表性位置处使用参考泄漏进行校准。泄漏率是通过计算测试部件泄漏导致设备预期寿命期间发生故障的净增益或损失来确定的。测试方法 B 用于测试真空系统，作为新系统最终测试的一个步骤，或作为用于制造、环境测试或调节零件的设备的维护实践。由于体积往往较大，因此应检查响应时间和系统灵敏度。系统体积（升）除以真空泵的速度（升/秒）将得出达到总信号 63% 的响应时间。超过几秒的响应时间使得泄漏检测变得困难。仅当没有方便的方法将检漏仪连接到高真空泵出口时才使用测试方法C。如果使用氦检漏仪并且高真空泵是离子泵或低温泵，则泄漏测试最好在粗加工循环期间完成，因为这些泵在高真空室中留下相对较高百分比的氦气。这将掩盖除大泄漏之外的所有泄漏，并且痕量气体将很快使泵饱和。

1.1 这种做法涵盖以 1 × 的速率测试和定位气体泄漏源的程序。 10−8 Pa m3/s (1 × 10−9 Std cm 3/s) 或更高。测试可以在任何可以抽空且另一侧可以施加氦气或其他示踪气体的待测物体上进行。

1.2 描述了三种测试方法：

1.2.1 测试方法 A8212；对于能够被抽空但不具有固有泵送能力的测试对象。

1.2.2 测试方法B8212；对于具有整体泵送能力的测试对象。

1.2.3 试验方法C8212；对于试验方法B中的被测物，其中被测物的真空泵代替检漏仪中通常使用的真空泵。

1.3 单位8212；以 SI 或 std-cc/sec 单位表示的值应单独视为标准。每个系统中规定的值可能并不完全相同：因此，每个系统应独立使用。组合两个系统的值可能会导致不符合标准。

1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

标准号

ASTM E498/E498M-11

发布

2011年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E498/E498M-11(2017)

当前最新

ASTM E498/E498M-11(2022)

 

 

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