EN 62047-8-2011
半导体器件.微型电机装置.第8部分:薄膜拉力特性测量的带状抗弯试验

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films


EN 62047-8-2011 发布历史

EN 62047-8-2011由欧洲电工标准化委员会 IX-CENELEC 发布于 2011-05-01。

EN 62047-8-2011的历代版本如下:

  • 2011年05月01日 EN 62047-8-2011 半导体器件.微型电机装置.第8部分:薄膜拉力特性测量的带状抗弯试验

 

 

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标准号
EN 62047-8-2011
发布日期
2011年05月01日
实施日期
废止日期
发布单位
IX-CENELEC

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