这种利用低温抽气面将气体冷凝的抽气泵叫低温泵,或冷凝泵。 是利用低温介质降低表面温度后将气体冷凝、吸附或是冷凝+吸附; 将被抽空间的压力降低,而获得真空或维持真空状态的装置。 作为完整的抽气系统,低温泵由两部分组成,主体为真空泵体,第二部分为压缩机。 现在得到广泛应用的都是制冷机式低温泵,其核心是低温制冷机。 ...
低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。 注入式液氦低温泵 主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗,液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到帕压力时灌入液氮和液氦,气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到帕数量级,故泵可获得帕以下的极限压力。...
吸附材料对低温泵的工作性能具有较大的影响。单从真空获得方面来说,一台无任何吸附剂的低温泵或许也可以满足要求。但是,一般情况下低温泵是依靠液氦或制冷机而获得低温的,其最低温度能达到4 K。而此时又需要低温泵抽除氦气,因为真空检漏会经常用到氦气。因此,低温泵需要通过吸附材料来帮助其抽除气体。另外,吸附材料在低温下比无吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡压力。...
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