执行器:MEMS 执行器也有部分较成熟的应用,如流量控制(喷墨头),射频器件里的 BAW(体 声波)滤波器、BAW 双工器等,但未来大量的应用场景不止于此,例如 MEMS 振荡器/谐振器、 MEMS 扬声器、MEMS 摄像头、MEMS 反射镜(用于微投领域)等。 ...
开关、LNA&天线调节器:SOI技术向300mm升级,MEMS技术成为补充射频开关是指可对射频信号通路进行导通和截止的射频控制元件。其性能指标主要是隔离度、工作带宽、插入损耗、开关时间、功率容量、使用寿命等。类似于滤波器的需求提升,5G因为频段的增加将带来通道数的提升,进而推动开关市场的容量增长。...
表面声波(SAW)滤波器曾是手机天线双工器的中流砥柱。2005年,安捷伦科技推出基于MEMS体声波(BAW)谐振器的频率器件(滤波器),该技术能够节省四分之三的空间。BAW器件不同于其他MEMS的地方在于BAW没有运动部件,主要通过体积膨胀与收缩实现其功能。...
此处主要介绍通信中较为特别的MEMS器件,主要为与射频相关MEMS器件。 通信系统中,大量不同频率的频带被使用以完成通讯功能,而这些频带的使用离不开频率的产生。声表面波器件,作为一种片外(off-chip)器件,与IC集成难度较大。表面声波(SAW)滤波器曾是手机天线双工器的中流砥柱。2005年,安捷伦科技推出基于MEMS体声波(BAW)谐振器的频率器件(滤波器),该技术能够节省四分之三的空间。...
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