异常原因通常引起质量的异常波动,1924年休哈特博士根据统计学原理设计出SPC控制图,并在图中设定相应的控制界限,当异常波动发生时,点子就会落在SPC控制图的控制界限之外。因此点子频频出界就可判定存在异常原因,操作人员应及时找出具体原因,采取措施消除异常,使生产过程重新进入稳定状态。 通过以上分析,我们理解了SPC中的异常原因以及如何发现异常原因。...
1)原材料控制。包括对掩膜版、化学试剂、光刻胶、特别对硅材料等原材料的控制。控制不光采用传统的单一检验方式,还可对关键原材料采用统计过程控制(statisticalprocesscontrol,SPC)技术,确保原材料的质量水平高,质量一致性好。 2)加工设备的控制。...
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