JJF 1351-2012
扫描探针显微镜校准规范

Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes


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MFP-3D-BIO™原子力显微镜

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JJF 1351-2012
标准号
JJF 1351-2012
发布
2012年
发布单位
国家计量技术规范
当前最新
JJF 1351-2012
 
 
引用标准
GB/T 19067.1-2003 JJF 1001-2011
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。 扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。

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