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/T 5275.5-2014气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第5部分:毛细管校准器2014-12-01GB/T 5275.6-2014气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第6部分:临界锐孔2014-12-01GB/T 5275.7-2014气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第7部分:热式质量流量控制器2014-12-01GB/T 5275.8-2014气体分析 动态体积法制备校准用混合气体...
-12-0125GB/T 5275.5-2014气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第5部分:毛细管校准器2014-12-0126GB/T 5275.6-2014气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第6部分:临界锐孔2014-12-0127GB/T 5275.7-2014气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第7部分:热式质量流量控制器2014-12-0128GB/T 5275.8...
这看起来似乎不多,但是较低的不确定度对于在芯片制造过程中获得均匀性和高质量至关重要。而且这个问题还在日趋严重。当前半导体行业的低端流速为每分钟1个标准立方厘米(1 sccm),约等于一块方糖的体积,但它们会迅速缩小至0.1 sccm。对于使用蚀刻沉积层以形成沟槽状特征的制造工艺,精确的流量测量尤为重要。在这种情况下,质量流量控制器(MFC)经常打开不超过几秒钟。...
、用于质量流量测量的双向探头和热电偶、以及烟气测量端口的管道SBI 框架推车19"气体分析仪【气体分析仪】装在一个19"的机架内,包括:• FTT 量热分析仪,具有带大气压补偿的顺磁型氧气传感器和红外型二氧化碳传感器 (0-10%) 。...
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