DIN EN ISO 14644-9:2008
洁净室和相关控制环境. 第9部分:微粒浓度法进行表面洁净度分类 (ISO/DIS 14644-9-2008); 德文版本prEN ISO 14644-9-2008
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface particle cleanliness (ISO/DIS 14644-9:2008); German version prEN ISO 14644-9:2008
- 标准号
- DIN EN ISO 14644-9:2008
- 发布
- 2008年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN ISO 14644-9:2012
- 当前最新
- DIN EN ISO 14644-9:2022-10
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