半导体设备 金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的移动离子测试(IEC 62417:2010), 您可以免费下载预览页
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与集成电路不同的是,集成电路是由数十亿个由极细电线连接的微型晶体管组成的,功率器件是由一个晶体管和一根完全由一片金属覆盖的细电线组成的。这种设计使隔离和分辨小的泄漏电流变得困难,并且需要使用不同于过去的电性失效分析方法。微光显微镜和镭射光束诱发阻抗值变化测试(OBIRCH)是精准定位功率半导体器件MOSFET失效模式的传统方法。然而,这些方法被覆盖在表面的厚金属层所阻碍。...
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