ISO 16413:2013
X射线反射计用薄膜的厚度、密度和接口宽度的评估.仪器邀请,校准和定位,数据收集,数据分析和报告
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry - Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
- 标准号
- ISO 16413:2013
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 16413:2020
- 当前最新
- ISO 16413:2020
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