ASTM D5127-13
电子学和半导体工业用超纯水的标准指南
Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries
ASTM D5127-13 发布历史
ASTM D5127-13由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2013。
ASTM D5127-13 在中国标准分类中归属于: L04 基础标准与通用方法。
ASTM D5127-13 电子学和半导体工业用超纯水的标准指南的最新版本是哪一版？
最新版本是 ASTM D5127-13(2018) 。
ASTM D5127-13 发布之时，引用了标准
- ASTM D1129 与水相关的标准术语
- ASTM D1193 试剂水(联邦试验方法No.7916)
- ASTM D1976 通过电感耦合氩等离子体原子发射光谱法测定水中元素的标准试验方法
- ASTM D2791 在线测定水中钠的标准测试方法
- ASTM D3919 用石墨炉原子吸收分光光度测定法测量水中痕量元素的标准实施规范
- ASTM D4191 原子吸收分光光度法对水中钠含量的试验方法
- ASTM D4192 原子吸收分光光度法对水中钾含量的试验方法
- ASTM D4327 用化学压缩离子色谱法对水中阴离子的试验方法
- ASTM D4453 处理高纯度水样品的标准做法
- ASTM D4517 使用无火焰原子吸收光谱法测定高纯度水中的低量硅总量的标准试验方法
- ASTM D5173 用化学氧化、紫外光氧化、两者共用或气相无弥散红外线(NDIR)或电解传导性与高温燃烧法即时监测水中碳化合物的标准试验方法
- ASTM D5196 生物应用级水标准指南
- ASTM D5391 高纯度流动水样品电导性和电阻率的标准试验方法
- ASTM D5462 水中低水平溶解氧在线测量的标准试验方法
- ASTM D5542 使用离子色谱法测定高纯度水中痕量阴离子的标准试验方法
- ASTM D5544 高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法
- ASTM D5673 用感应耦合等离子体质谱仪测定水中元素的标准试验方法
- ASTM D5996 通过在线离子色谱法测定高纯度水中的阴离子污染物含量的标准试验方法
- ASTM D5997 通过紫外线、过硫酸盐氧化作用、膜导电位检测对水中总碳、无机碳在线监测的标准试验方法
- ASTM F1094 用于通过直接压力抽头阀和预灭菌塑料袋方法处理电子和微电子器件的水的微生物监测的标准测试方法
ASTM D5127-13的历代版本如下：
- 2018年 ASTM D5127-13(2018) 电子和半导体行业超纯水标准指南
- 2013年 ASTM D5127-13 电子学和半导体工业用超纯水的标准指南
- 2012年 ASTM D5127-12 电子学和半导体工业用超纯水的标准指南
- 2007年 ASTM D5127-07 电子学和半导体工业用超纯水标准指南
- 1999年 ASTM D5127-99 电子学和半导体工业用超纯水的标准指南
1.1 类型 E-1.2B 类型E-1.3B型 E-2型 E-3型 E-4型 线宽（微米） 1.0–0.5 0.35–0.25 0.18x2……
- 标准号
- ASTM D5127-13
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM D5127-13(2018)
- 当前最新
- ASTM D5127-13(2018)
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D1193 ASTM D1976 ASTM D2791 ASTM D3919 ASTM D4191 ASTM D4192 ASTM D4327 ASTM D4453 ASTM D4517 ASTM D5173 ASTM D5196 ASTM D5391 ASTM D5462 ASTM D5542 ASTM D5544 ASTM D5673 ASTM D5996 ASTM D5997 ASTM F1094
ASTM D5127-13相似标准
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