洁净室和相关受控环境 第9部分:按颗粒浓度对表面清洁度分类, 您可以免费下载预览页
非常抱歉,我们暂时无法提供预览,您可以试试: 免费下载 DS/EN ISO 14644-9:2012 前三页,或者稍后再访问。
您也可以尝试购买此标准,点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购(由第三方提供)。
-7分离装置(清洁空气罩、手套箱、隔离器和微环境)2004指定分离设备的设计、构造、安装、测试和批准的最低要求ISO14644-8按化学物浓度(ACC)分类的空气洁净度2013涵盖洁净室及其相关受控环境中气态分子污染物(AMC)的分类ISO14644-9通过颗粒物浓度对表面清洁度进行分类2012通过洁净室及其相关受控环境中的颗粒物浓度确定固体表面洁净度等级的分类ISO14644-10按化学物浓度对表面清洁度进行分类...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved 京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号