GB/T 29557-2013
表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

Surface chemical analysis.Depth Profiling.Measurment of sputtered depth


GB/T 29557-2013 中,可能用到以下仪器

 

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GB/T 29557-2013



标准号
GB/T 29557-2013
发布日期
2013年07月19日
实施日期
2014年03月01日
废止日期
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
发布单位
CN-GB
适用范围
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。

GB/T 29557-2013系列标准


GB/T 29557-2013 中可能用到的仪器设备





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