电容式加速度传感器/电容式加速度计是对比较通用的加速度传感器。在某些领域无可替代,如安全气囊,手机移动设备等。电容式加速度传感器/电容式加速度计采用了微机电系统(MEMS)工艺,在大量生产时变得经济,从而保证了较低的成本。...
通过十年来的专业学习与研究工作,在MEMS技术领域、特别是在高精度谐振式MEMS加速度计的设计、制造与测试方面打下了坚实的基础,并取得了多项国际重大科研成果。他十年磨一剑,在微机电系统领域不懈探索,于方寸之间开启创新舞台,并取得斐然成果。 方兴未艾的微机电系统 MEMS是20世纪80年代末出现的一种战略性高新技术,引起各发达国家的广泛关注,近年来更是形成全球化的产业。...
压电式加速度传感器的原理是利用压电陶瓷或石英晶体的压电效应,在加速度计受振时,质量块加在压电元件上的力也随之变化。当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时,则力的变化与被测加速度成正比。 压阻式 基于世界领先的MEMS硅微加工技术,压阻式加速度传感器具有体积小、低功耗等特点,易于集成在各种模拟和数字电路中,广泛应用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监测等领域。...
高精度MEMS电容加速度传感器产品特征: 1.钛合金外壳 2.气密封装 3.差分输出 4.微机电系统科技 5.DC响应 6.环境防护罩 7.可提供多种范围的量程 Dytran 7604系列结合了MEMS电容敏感元件和先进的ASIC,以模拟压阻桥操作,以及集成可变电容加速度计芯片具有高驱动,低阻抗缓冲。...
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