KS I ISO 14644-5:2005
洁净室和相关控制环境.第5部分:操作

Cleanrooms and associated controlled environments-Part 5:Operations


标准号
KS I ISO 14644-5:2005
发布
2005年
发布单位
韩国科技标准局
替代标准
KS I ISO 14644-5:2020
当前最新
KS I ISO 14644-5:2020
 
 
被代替标准
MISO14644-5
适用范围
이 규격은 청정실의 작업에 관한 기본적인 요구 조건을 설명한다. 이것은 청정실의 사용 및

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