图1为标准光栅的SEM图像。用10条光栅的间距4630nm(图1中线段AB所示),来校正放大倍率,校正结果以每象素代表的实际长度表示。校正后对标准光栅进行测量,本文所使用的放大倍率的误差列于表1,可见误差均小于0.5%。经过校正后的蔡司EVO 18型扫描电子显微镜,将在质检和计量工作中发挥非常重要的作用。 ...
该方法可直接关联图像扫描与激光干涉仪的位置测量,实现对样品纳米结构扫描成像的量值溯源,有效减少电子束扫描成像过程中放大倍率波动和扫描线圈非线性特征在纳米尺度测量中产生的误差,从而实现对样品纳米结构的溯源测量。 该设备的研制成功对我国纳米尺度计量标准的制定、扫描电子显微镜及其它纳米尺寸测量仪器的校准、纳米标样和标物的校准、参与国际长度比对等方面将起到重要作用。 ...
显微仪器主要包括了光学显微镜和电子显微镜。光学显微镜的分辨率最高只能达到200 nm,有效放大倍率为1000~2000倍,无法研究如物质的分子、原子等小于200 nm的物质。故而,科学家们进而研究了电子显微镜。...
3纳米(人眼的分辨本领约为0。1毫米)。现在电子显微镜最大放大倍率超过300万倍,而光学显微镜的最大放大倍率约为2000倍,所以通过电子显微镜就能直接观察到某些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子点阵。 1931年,德国的克诺尔和鲁斯卡,用冷阴极放电电子源和三个电子透镜改装了一台高压示波器,并获得了放大十几倍的图象,证实了电子显微镜放大成像的可能性。...
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