ISO14644-14 根据悬浮颗粒物浓度评估设备使用的适用性 2016 指定设备在洁净室和相关受控环境中适用性的评估方法 ISO14644-15 通过悬浮化学物浓度评估设备和材料的适用性 2017 将用于洁净室及其相关受控环境中的设备和材料引起的化学物洁净度提出要求和指南 ISO14644-16 提高洁净室和净化设备能效的实施指南 ...
与稳定平顶光束整形器相比,平顶光束整形器的传输区域更大,但是散焦行为更佳。HOLO/OR衍射光束整形器用于包括激光切割、划线与烧蚀在内的材料加工应用,以及诸如晶圆检验和光刻等照明应用。注意:衍射光学元件不能在其设计波长范围外使用。若衍射光学元件的表面遭油或其他物质弄脏,其性能会降低。建议在处理这些光学元件时务必使用手套或指套。...
为此,按照惯例要对洁净室进行“工程验收”。工程验收一般分两个阶段进行,竣工验收和综合性能评价。此外,对于一个正常使用中的洁净室,为确保其始终处于设计所要求的“受控状态”,就必须进行定期或连续的监测,以考核洁净室的相关技术参数,判定其是否符合规定的状态。与其相关的一整套运行管理体系,则是保障受控环境持续正常运营的“软件”。...
图2.手部精细动作运动规划与康复训练 柔性康复手套机器人的轻质与高集成设计使其具有极高的便携性,使得患者的手功能康复训练脱离医院等固定康复场所,实现了如家庭、公园、办公室等场景的康复训练(图3)。由于形状记忆合金(SMA)驱动不会像流体驱动、电机驱动等产生噪音,研究人员也验证了其在低噪声环境中的使用可行性,如图书馆等。...
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