找不到引用GB/T 30901-2014 高纯氟化铵溶液 的标准
该方案同样适用于非反应型惰性气体,也可以应用于高纯气体净化材料和设备的性能考察。三氟化氮中可水解氟化物的检测方案高纯三氟化氮(NF3)具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时是非常良好的清洗剂,主要用于等离子体刻蚀和化学气相沉积(CVD)的清洗。随着集成电路制程技术节点的不断减小,高纯三氟化氮的需求快速增长,气体中杂质的检测也备受关注。...
2、实验过程2.1 仪器与试剂HPSE Ultra高效快速溶剂萃取仪,莱伯泰科;E.T.氮吹浓缩仪,货号:C020017,莱伯泰科;SPE1000全自动固相萃取仪,莱伯泰科;SCIEX Exion LC™液相系统+Triple Quad™4500质谱系统,SCIEX;甲醇、乙腈(色谱纯);乙酸铵(分析纯);硅藻土(20-80目,货号:Y021003187G),北京莱伯帕兹检测科技有限公司;EZsepTMWAX...
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