GB/T 30857-2014
蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
GBT30857-2014, GB30857-2014
- 标准号
- GB/T 30857-2014
- 别名
- GBT30857-2014, GB30857-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 30857-2014
- 引用标准
- GB/T 14264
- 适用范围
- 本标准规定「制备氮化稼薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片〈简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。 本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
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