GB/T 30866-2014
碳化硅单晶片直径测试方法
Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
GBT30866-2014, GB30866-2014
GB/T 30866-2014 发布历史
GB/T 30866-2014由国家质检总局 CN-GB 发布于 2014-07-24，并于 2015-02-01 实施。
GB/T 30866-2014 在中国标准分类中归属于: H83 化合物半导体材料，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
GB/T 30866-2014的历代版本如下：
- 2014年 GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法
本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。 本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。 2 方法提要
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