本标准规定了碳化硅单晶片厚度及总厚度变化(TTV)的测试方法,包括接触式和非接触式两种方式。本标准适用于直径不小于30 mm、厚度为0.13 mm~1 mm的碳化硅单晶片。
GB/T 30867-2014由国家质检总局 CN-GB 发布于 2014-07-24,并于 2015-02-01 实施。
GB/T 30867-2014 在中国标准分类中归属于: H83 化合物半导体材料,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
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