GB/T 31227-2014
原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
GB/T 31227-2014 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 31227-2014
- 发布日期
- 2014年09月30日
- 实施日期
- 2015年04月15日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- J04
- 国际标准分类号
- 17.040.20
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 27760-2011
- 适用范围
- 本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。