ISO 14706-2014
表面化学分析 用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面基本的污染

Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 ISO 14706-2014 前三页，或者稍后再访问。

注意： 点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

标准号

ISO 14706-2014

发布日期

2014年08月01日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

IX-ISO

引用标准

ISO 5725-2-1994 ISO 14644-1-1999

被代替标准

ISO 14706-2000 ISO/DIS 14706-2013

谁引用了ISO 14706-2014 更多引用