ISO 13095:2014
表面化学分析. 原子力显微镜学. 纳米结构测量用AFM探针柄轮廓的现场鉴定程序
Surface Chemical Analysis - Atomic force microscopy - Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement
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- 标准号
- ISO 13095:2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 13095:2014
- 引用标准
- ISO 11039:2012 ISO 11952:2014 ISO 18115-2:2010 ISO/TS 80004-4:2011
- 本国际标准规定了两种表征 AFM 探针尖端形状的方法，特别是柄部和近似尖端轮廓。 这些方法将 AFM 探针尖端的轮廓投影到给定的平面上，并且在定义的操作条件下探针柄的特性也投影到该平面上。 后者表明给定探头在狭窄沟槽和类似剖面中的深度测量的有用性。 本国际标准适用于半径大于50的探头，其中uo是用于表征探头的参考样品中脊结构宽度的不确定度。
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