GB/T 31058-2014由国家质检总局 CN-GB 发布于 2014-12-22,并于 2015-07-01 实施。
GB/T 31058-2014 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体,在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅的最新版本是哪一版?
最新版本是 GB/T 31058-2014 。
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。分子式:SiF。相对分子质量:104.0786128(按2009年国际原子相对质量)。
GB/T14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼》规定:三氟化硼气体中四氟化硅的含量最好在20ppm以下。目前,气体中的硅含量的测定方法有很多种(如重量法、原子吸收光谱法、氟硅酸容量法等),硅钼蓝分光光度法存在诸多优点:如,操作简单、显色快速稳定、应用广泛等。...
根据《中华人民共和国国家标准公告》(2011年第2号),由华爱色谱公司参与起草的《电子工业用气体硒化氢》、《电子工业用气体砷化氢》、《电子工业用气体三氯化硼》、《氟及氟氮混合气》等四项国家标准获得国家质检总局、国家标准委的正式批准和发布。...
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