GB/T 31058-2014
电子工业用气体 四氟化硅

Gases for electronic industry.Silicon tetrafluoride

GBT31058-2014, GB31058-2014


GB/T 31058-2014 发布历史

GB/T 31058-2014由国家质检总局 CN-GB 发布于 2014-12-22,并于 2015-07-01 实施。

GB/T 31058-2014 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体,在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。

GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅的最新版本是哪一版?

最新版本是 GB/T 31058-2014

GB/T 31058-2014 发布之时,引用了标准

GB/T 31058-2014的历代版本如下:

 

本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。分子式:SiF。相对分子质量:104.0786128(按2009年国际原子相对质量)。

GB/T 31058-2014

标准号
GB/T 31058-2014
别名
GBT31058-2014
GB31058-2014
发布
2014年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 31058-2014
 
 
引用标准
GB 14194 GB 15258 GB 16804 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 26571 GB/T 28726-2012 GB/T 28727 GB/T 3723 危险化学品安全管理条例(2002版) 气瓶安全监察规程(2000版) 特种设备安全监察条例(2009版)

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