找不到引用GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法 的标准
技术指标■TTV■精确度:±0.1um■重复性精度:0.01um■厚度■精确度:±0.2um■重复性精度:0.1um■测试范围:50-2000um■翘曲度/弯曲度■精确度:0.5um■重复性精度:0.2um■测试范围:200um■整机参数■测量时间:...
退火后的4英寸晶片,经测试,整个翘曲度小于5微米,加工应力基本消除。实施例2:低温区升温(I):将双面研磨后的4英寸蓝宝石晶片装入特殊工装内,放入退火炉炉膛,以:TC /分钟的升温速率从室温升温至300°C。低温区保温⑵温度保持300°C 4个小时。低温区旋转(3):在温度升至200°C并且保温2小时后,旋转退火工装180度。...
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