GOST R ISO 14644-10-2014
洁净室和相关控制环境. 第10部分. 采用化学浓度法对表面洁净度的分类

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10. Classification of surface cleanliness by chemical concentration

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标准号: GOST R ISO 14644-10-2014
发布: 2014年
发布单位: RU-GOST R
当前最新: GOST R ISO 14644-10-2014

引用标准: ISO 14644-1 ISO 14644-6

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