SJ/T 11495-2015
硅中间隙氧的转换因子指南

Guide to conversion factors for interstitial oxygen in silicon

标准号

SJ/T 11495-2015

发布日期

2015年04月30日

实施日期

2015年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了硅中间隙氧的转换因子指南。本标准适用于在室温下测试电阻率大于0.1 Ω·cm的n型硅单晶和电阻率大于0.5 Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量。

SJ/T 11495-2015 中可能用到的仪器设备