SJ/T 11502-2015
碳化硅单晶抛光片规范
Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers
SJT11502-2015, SJ11502-2015
- 标准号
- SJ/T 11502-2015
- 别名
- SJT11502-2015, SJ11502-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11502-2015
- 适用范围
- 本规范规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。本规范适用于晶型为6H和4H,单面或双面抛光,直径100 mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。
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