硅片径向电阻率变化的测量方法, 您可以免费下载预览页
单组合四探针相比,用较小间距的探针头就可以进行高精度的测量,从而可获得更高的晶片薄层电阻变化的空间分辨率。 仪器特点如下: 1、配有双数字表:一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全过程中的电流变化,使操作更简便,测量更。 ...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved 京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号