BS EN ISO 14644-2-2015
洁净室和相关控制环境. 洁净室空气洁净度性能的颗粒物浓度监测证据

Cleanrooms and associated controlled environments. Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration

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标准号
BS EN ISO 14644-2-2015
发布日期
2016年01月31日
实施日期
2016年01月31日
废止日期
无
中国标准分类号
C47
国际标准分类号
13.040.35
发布单位
GB-BSI
引用标准
ISO 14644-1-2015 ISO 14644-4-2001 ISO 14644-12 ISO 14644-3 ISO 21501-4-2007 ISO 31000-2009
被代替标准
BS EN ISO 14644-2-2000

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