GB/T 13843-1992
蓝宝石单晶抛光衬底片

Polished monocrystalline sapphire substrates

GBT13843-1992, GB13843-1992

2017-12

说明:

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GB/T 13843-1992

标准号
GB/T 13843-1992
别名
GBT13843-1992
GB13843-1992
发布
1992年
采用标准
SEMI M3-1983 REF
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 13843-1992
 
 
本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。

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