(四)下面重点介绍一下X射线在表面分析中的原理及应用 X射线光电子能谱法(X-ray Photoelectron Spectrom——XPS)在表面分析领域中是一种崭新的方法。虽然,用X射线照射固体材料并测量由此引起的电子动能的分布早在本世纪初就有报道,但当时可达到的分辩率还不足以观测到光电子能谱上的实际光峰。...
一、超高真空系统超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。XPS谱仪的激发源,样品分析室及探测器等都安装在超高真空系统中。通常超高真空系统的真空室由不锈钢材料制成,真空度优于1×10-9 托。在X射线光电子能谱仪中必须采用超高真空系统,原因是(1)使样品室和分析器保持一定的真空度,减少电子在运动过程中同残留气体分子发生碰撞而损失信号强度;(2) 降低活性残余气体的分压。...
Theta Probe ARXPS/Raman 系统 Theta Probe拉曼光谱的激光光斑尺寸与最小的微聚焦X射线光斑(15μm)匹配,使得通过两种方法分析样品小特征有着相同的横向分辨率。将多项技术综合应用于一个测量实验,并确保在同一个样品点分析,可以对两种技术得到数据进行更为全面的整合和比较。此外,通过在同一时间和同一位置进行测量,可大大减少不同测量方法之间的样品改变或污染的风险。...
XPS指的是X-ray Photon-electron Spectroscopy(光电子能谱仪),是一种基于光电效应,采用X射线激发被测样品表面nm尺度内的原子发射光电子,通过系统探测到所发射光电子的动能等信息,进而分析样品表面的元素种类及化合态的定性和定量分析的一种技术。XPS技术目前已有超过40年的应用历史。...
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