IEC 62047-1:2016
半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
- 标准号
- IEC 62047-1:2016
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-1:2016
- 被代替标准
- IEC 47F/232/FDIS:2015 IEC 62047-1:2005
- This part of IEC 62047 defines terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.
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